- Una/Duie Porte
U quadru è a camera sò fatti di acciaio inox carboniu.
Ogni porta furnisce una finestra di ispezione per u cuntrollu visuale di u prucessu.I pareti di a porta furniscenu un rivestimentu in acciaio inox chì hè facilmente rimosso per mantenimentu.
-Camera di Vacuum persunalizata
A camera furnisce i rivestimenti interni d'acciaio inossidabile facilmente rimuove per a pulizia.
I pumps sò nantu à a so parte posteriore.
A camera hà una seria di picculi flange per u scopu di misurazione.
- Sistema di pumping high vacuum
Pompa di diffusione + Pompa Booster + Pompa meccanica
-Misurazione è cuntrollu di u vacuum
Cù calibre Pirani di metallu + calibre di ionizazione di metallu
- Sistema di movimentu di l'attrezzi
- Unità di cuntrollu PLC
-Sistema di evaporazione d'aluminiu cù trasformatore d'alta putenza
- Quadru di ferru
A struttura hè raghjone
A capa di film hè uniforme
Qualità di furmazione di film
Alta velocità di pompaggio, ciculu di travagliu cortu è alta efficienza di produzzione
L'operazione hè cunvene
Bassu cunsumu d'energia è prestazione stabile
Numero di mudellu | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dui porte o Dui mudelli di camere sò dispunibili | |
Dimensione di a camera di vacuum (diametru * altezza) | 1000 * 1100 | 1200 * 1400 | 1400 * 1600 | 1800 * 2000 | 2000 * 2200 | ||
Materiale di a camera di vacuum | Acciaio à carbone, SUS304 o SUS316L | ||||||
Tecnulugia di u travagliu | evaporazione di resistenza à u vacu cù filamenti di tungstenu è d'aluminiu, trasformatore di evaporazione d'alta putenza | ||||||
Sistema di pumping | Pompa di diffusione + pompe meccaniche, pompa booster | ||||||
Tempu di Pumping | Da l'atmosfera à 5.0 * 10-2Pa menu di 8 minuti | ||||||
Limitu di vacuum | 5,0 * 10-4 Pa | ||||||
Temperature di travagliu | A temperatura di l'ambienti | ||||||
Modu di travagliu | Modu automaticu o manuale, da 10,4 pollici PLC tocca u screnu | ||||||
Potenza tutale | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Impronta | 2*2 metri | 2*3 metri | 3*3 metri | 3*3 metri | 3*4 metri | 4*5 metri | 5*6 metri |
Queste unità pudete fà customizate | 1. Size di camera vacuum 2. Configurazioni di pumps | ||||||
Strumenti opzionali | 1. Detector di fuga 3. Sistema di depositu di ioni d'arcu 4. Sistema di sputtering Magntron |