Sistema di Sputtering Magnetron Inline Image Featured Image

Sistema di Sputtering Magnetron in linea

Breve descrizione:

U sistema di Sputtering Magnetron Inline hè un tipu d'attrezzatura di deposizione di film sottile in vacuum chì funziona per scopi diversi.L'applicazioni più cumuni di a nostra linea di sputtering includenu:

Fabricazione di specchi d'aluminiu

Rivestimentu di vetru ITO
Vetru anti-riflettente
Rivestimenti decorativi per l'acciaio inox è u vetru

Stu sistema di rivestimentu hè adattatu per l'applicazioni di rivestimentu in vacuum high class.Produce un rendimentu di travagliu stabile per migliurà a qualità di i filmi di revestimentu di vacuum.

Mandate un email à noi

Detail di u produttu

Tags di u produttu

A macchina di rivestimentu in linea di magnetron sputtering hè principalmente DC (o MF) u revestimentu di magnetron sputtering pò esse adattatu à una larga gamma di miri, cum'è: rame, titaniu, cromu, acciaio inox, nichel è altri materiali metallici chì ponu esse rivestiti cù un prucessu di sputtering. pò migliurà l'aderenza di film, a riproducibilità, a densità, l'uniformità è altre caratteristiche.

a.I caratteristiche basi è i paràmetri
b.struttura di linea horizontale pò esse realizatu simultaneamente rivestiti da un latu
c.efficienza di pruduzzione, a velocità più veloce di finu à 1 min / battu
d.cuncepimentu modulare, mantenimentu faciule
e.maturità di u prucessu di plating, altu rendiment
f.I catodi di sputtering di magnetron DC pò varià secondu e esigenze di u cliente
g.sistema di vacuum hè custituitu da una pompa meccanica, pompe Roots, pompe di diffusione (pompa molecular) Composizione
h.A dimensione di u corpu di a linea pò varià secondu e esigenze di u cliente

1) I materiali di u corpu di a camera di vacuum utilizati SUS304, lucidatura di un trattamentu di muru di camera di vacuum, u trattamentu di perle di lucidatura di u muru esternu.
2) Aduprendu una valvola di porta indipendente trà a camera di vacuum - valve flapper apart, pò esse efficacemente tagliata, stabilizzà u gasu di prucessu.Attualmente, a nostra cumpagnia aduttà u disignu di a valvola flapper, sigilla megliu, più durable chè l'attuale valvola flap cumuni domestica.
3) A trasmissione usa una guida magnetica, prutegge a stabilità di u drive.Per ogni velocità di tutta a linea di produzzione cù l'accionamentu di u mutore VVVF, a velocità di corsa pò esse aghjustata.
4) Sistema di cuntrollu elettricu: Touch Screen è cuntrollu automaticu PLC, dialogu omu-macchina per ottene u sistema di visualizazione di dati, paràmetri operativi è tecnulugia di cuntrollu
1) Ultima pressione di vacuum: 6 × 1 0E-4 Pa
2) u ciclu di pruduzzione mediu: secondu u pruduttu determinatu
3) U supportu di sustrato Size: pò esse persunalizatu secondu e esigenze di
4) Uniformità di film: ± 3% tecnulugia avanzata di campu mobile hà assai rinfurzatu l'utilizazione di destinazione
U disignu di riscaldatore segmentatu hè favurevule à l'ottimisazione di u prucessu.