Linea di Sputtering Magnetron Inline Mirror d'Aluminiu
Breve descrizione:
A Linea di Sputtering Magnetron Inline Mirror Aluminium Mirror Inline hè pensata per un altu rendimentu di u scopu di fabricazione di specchi di vetru.Per rivestire vetru più grande è piglià cura di u pannellu di vetru fragile, soprattuttu per i fogli di grande dimensione, di solitu facemu u tipu horizontale di linea di sputtering.Hè una linea di rivestimentu di magnetron cuntinuu, cù a camera di pompamentu ruvida davanti è posteriore, è dopu à a camera di transizione, prima è dopu à a camera di pumping fine, una camera buffer, sala di placcatura di culore.
Disegnu di destinazione: catodi di sputtering magnetron cilindricu o/è catodi planari.
Fonte d'energia: alimentazione cù sputtering magnetron DC o MF d'alta putenza
Sistema di trasmissione: trasmissione à rulli, frequenza regulabile, sistema di apertura di porta di stanza di tipu induzione.
Sistema di vacuum: pompa di diffusione (o pompa turbomolecular) + pompa di radichi + pompa meccanica
A Linea di Sputtering Magnetron Inline Mirror Aluminium hè di solitu vene cù parechje camere di vacuum per cumprità u vacuum coating in vetru.
Caratteristiche principali:
1.Max.glass coating size: 2440x3660mm o persunalizatu
2. Camere multi-vacuum è cuncepimentu di camera multi-sputtering sò dispunibuli
3. A linea di cuntrollu magneticu horizontale hà struttura unicu è doppia;doppia pulizia di vetru, rivestimentu, rilevazione, pittura, asciugatura, rinfrescante pò esse finitu tuttu in una volta
4. A linea di rivestimentu sputtering usa PLC per u cuntrollu tutale di u prucessu è hè dotata di schermu di culore per vede i dati di u prucessu di rivestimentu.
Stratu di rivestimenti: Titanium, Chrome, Stainless Steel, Aluminium, Silver, Copper, etc.
Cumposti: TiN, TiO2, etc.
Spessore di a capa: 5-100 nm
Trasmissione: 8-40% a lunghezze d'onda 380-780 nm
Température de dépôt : température ambiante
Pressione finale dopu à 8 ore di pump-down:
Camera di serratura d'entrata è camera di serratura di vacuum: 5 × 10-1 Pa o sottu
Camera tampone 1: 3 × 10-3 Pa o sottu
Sputtering Camera: 2 × 10-3 Pa o sottu
Camera tampone 2: 3 × 10-3 Pa o sottu
Exit lock camera & vacuum lock camera: 5 × 10-1 Pa o sottu